我們都知道LED芯片制造起來十分復雜,今天小編來給大家簡單講講LED芯片的制造工藝流程,讓您看看這個核心器件是如何制作的。
從基底開始:長“晶體”的第一步
LED芯片的生命從一塊**襯底**開始。常見的襯底材料有藍寶石(Al?O?)、碳化硅(SiC)和硅(Si)。
不同襯底價格和性能差別挺大,比如藍寶石便宜但導熱差,SiC貴但導熱好。
這塊襯底其實就像蓋房子的地基,后面的外延層要長在它上面。一般芯片廠會先做清洗、拋光,確保表面干凈、平整,不然后面長出來的晶體會“歪”。

外延生長:
接下來最關鍵的一步MOCVD外延生長。
這個環(huán)節(jié)幾乎決定了芯片的亮度、波長、效率。簡單說,就是用化學氣相沉積技術,在襯底上長一層層半導體薄膜,比如GaN(氮化鎵)、InGaN(銦鎵氮)、AlGaN(鋁鎵氮)等。
這些材料層厚度只有幾百納米到幾微米,但要層層精確控制。外延爐里的溫度、氣體比例、壓力都得調得非常細。一點偏差,光的波長就會飄,產(chǎn)品良率就低。
光電結構形成:PN結的建立
外延長好之后,會形成一個多層結構,其中包含P型層、N型層和有源層。
有源層就是LED發(fā)光的“核心區(qū)域”,電子和空穴在這里復合發(fā)光。波長、亮度都跟這層材料的成分直接相關。

芯片制程:刻蝕、金屬化、電極制作
每個步驟都關系到芯片發(fā)光均勻度和壽命。比如金屬層厚度不均,會導致電流集中、局部過熱,發(fā)光點就容易燒壞。
切割與檢測:從晶圓到微小芯片
當整片晶圓(通常2英寸或4英寸)做好之后,要經(jīng)過切割。
一片晶圓上可能有幾千甚至上萬個芯片。切割完之后,每顆芯片都要經(jīng)過電性和光學測試。
每一步都得精密、穩(wěn)定、干凈。LED芯片不是“拼裝”出來的,而是“長”出來的,一層層堆、一道道工藝修。
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